个人简介

樊成，博士，教授，仲英青年学者，苏州大学首批“优秀青年学者”，现任江苏省先进机器人技术重点实验室主任助理、苏州大学未来科学与工程学院副院长。研究方向主要围绕多物理场可控柔性抛光新原理、柔性抛光面形精度调控新策略、复杂曲面高性能可控柔性磨抛新装备三个方面。主持国家自然科学基金面上项目、青年基金、国家重点研发项目青年科学家项目（子课题）、江苏省基础研究计等项目，主持校企合作项目12项。目前已在国际期刊上发表高水平SCI论文近60篇，第一或通讯作者SCI论文32篇，授权中国发明专利20余项。获苏州市高等院校、科研院所高层次紧缺人才，获首届全国博士后创新创业大赛优胜奖、中国产学研合作促进会产学研工匠精神等。
特邀报告

探秘原子尺度下晶体加工过程中材料微观行为及分析技术
报告摘要

随着芯片及光刻系统光学镜头加工对表面质量的要求达到亚纳米级，材料变形及去除行为的研究也深入到原子级及近原子级尺度，以获取微观尺度下原子迁移行为及分离机制。微观尺度模拟及分析技术可以实现原子层面的动态过程分析，是理解宏观参数与微观行为的桥梁。该方法可以突破经验性摸索方式的束缚，为优化宏观尺度下材料表面加工工艺提供可靠的理论基础。本次报告以晶体材料为对象，给出模拟及分析技术在微观尺度层面的研究进展。